Zobrazeno 1 - 10 of 145 pro vyhledávání: '"W. Calleja"'
1
Akademický článek
Mechanical characterization of polysilicon cantilevers using a thermo-mechanical test chip fabricated with a combined bulk/surface micromachining technique
Autor: F.J. Quiñones-N, F.J. De la Hidalga-W, M. Moreno, J. Molina, C. Zúñiga, W. Calleja
Publikováno v: Results in Physics, Vol 4, Iss C, Pp 119-120 (2014)
In this work a simplified low-frequency resonant method for the measurement of Young’s modulus of polysilicon cantilevers is described. We used a test chip, specially designed for characterizing thermal and mechanical properties, and fabricated usi
Externí odkaz: https://doaj.org/article/87d5ce7837f848a38f953c201e36522f
Zobrazit plný text záznamu
2
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
3
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
7
On the roughness analysis of high-index silicon wafers using KOH-IPA solutions
Autor: Mario Moreno, Carlos Zuniga, H. E. Martinez-Mateo, Joel Molina, W. Calleja, N. Carlos-Ramírez, F. J. De la Hidalga-W
Bulk Micromachining on some stable high-index silicon substrates are ever more interesting because they are opening new possibilities for the development of novel 3D microstructures and surface nanostructures useful for diverse quantum applications.
Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::67080f7584db41126878e1df0f99555d
https://doi.org/10.1149/osf.io/d2a6z
Zobrazit plný text záznamu
8
A modular and generic monolithic integrated MEMS fabrication process
Autor: W. Calleja Arriaga, C.R. Báez Álvarez, A. Torres Jacome, Mónico Linares Aranda
Publikováno v: Superficies y Vacío. 30:30-39
A modular and generic, monolithic integrated MEMS fabrication process is presented to integrate microelectronics (CMOS) with mechanical microstructures (MEMS). The proposed monolithic integrated fabrication process is designed using an intra-CMOS app
Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::e3e8ceb5a5cc5834192ff730e556b655
https://doi.org/10.47566/2017_syv30_1-030030
Zobrazit plný text záznamu
9
A comparative study of amorphous silicon carbide and silicon rich oxide for light emission applications
Autor: Alfonso Torres, W. Calleja, Pedro Rosales, K. Monfil, Roberto Ambrosio, Mario Moreno, A. Benítez, Israel Vivaldo, Netzahualcoyotl Carlos
Publikováno v: Journal of Luminescence. 190:215-220
In this work we performed a comparative study of the structural, optical and photoluminescent properties of amorphous Silicon Carbide (a-Si1−xCx:H) and Silicon Rich Oxide (SRO). We have optimized the deposition conditions of a-Si1−xCx:H in order
Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::5b68b06c494c548c679fae0bd691aed2
https://doi.org/10.1016/j.jlumin.2017.05.048
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje