Zobrazeno 1 - 10
of 136
pro vyhledávání: '"W Boullart"'
Autor:
J. G. Lisoni, J. Johnson, J. L. Everaert, V. Paraschiv, W. Boullart, D. Maes, L. Haspeslagh, D. J. Wouters, C. Caputa, P. Casella, R. Zambrano, G. Vecchio, H. Monchoix, L. Van Autryve
Publikováno v:
Integrated Ferroelectrics. 53:257-267
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::972f188954b83f9e2aa4133968319342
https://doi.org/10.1080/10584580390258174
https://doi.org/10.1080/10584580390258174
Autor:
A Das, T Kokubo, Y Furukawa, H Struyf, I Vos, B Sijmus, F Iacopi, J Van. Aelst, Q.T Le, L Carbonell, S Brongersma, M Maenhoudt, Z Tokei, I Vervoort, E Sleeckx, M Stucchi, M Schaekers, W Boullart, E Rosseel, M Van Hove, S Vanhaelemeersch, A Shiota, K Maex
Publikováno v:
Microelectronic Engineering. 64:25-33
Increasing the circuit density is driving the need for lower permittivity interlayer dielectrics (ILD) to reduce the capacitance between long parallel lines. JSR's LKD-5109, an MSQ-based material, is one of such low-k materials for the 65-nm node. Th
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::418d616414353ade522e569289c856b9
https://doi.org/10.1016/s0167-9317(02)00768-2
https://doi.org/10.1016/s0167-9317(02)00768-2
Publikováno v:
Journal of Physical Chemistry A; Mar2007, Vol. 111 Issue 9, p1618-1631, 14p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.