Zobrazeno 1 - 10
of 140
pro vyhledávání: '"Voloshin, D"'
Ion-assisted surface processes are the basis of modern plasma processing. Ion energy distribution (IED) control is critical for precise material modification, especially in atomic-level technologies such as atomic layer etching. Since this control sh
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/2012.14882
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Plasma Sources Science & Technology; Aug2024, Vol. 33 Issue 8, p1-16, 16p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Kropotkin, A. N.1 (AUTHOR), Voloshin, D. G.1 (AUTHOR) dvoloshin@mics.msu.su
Publikováno v:
Plasma Physics Reports. Aug2019, Vol. 45 Issue 8, p786-797. 12p.
Autor:
Booth, Jean-Paul, Chatterjee, A, Guaitella, O, Lopaev, D, Zyryanov, S, Rakhimova, T, Voloshin, D, Oliveira, N, Nahon, L
Publikováno v:
IS Plasma 2021
IS Plasma 2021, Mar 2021, Nagoya, Japan
IS Plasma 2021, Mar 2021, Nagoya, Japan
International audience
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::9103cef8ebbe861e067f8af0e36bb57e
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-03317344
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-03317344