Výsledky vyhledávání - "Voelkel, Lars"

Conference

Challenges of non-PFOS top antireflective coating material.

Autor: Hsu, Shu-Hao, Vermeir, Inge, Scholze, Matthias, Voigt, Matthias, Gierth, Janine, Mittermeier, Armelle, Mäge, Iris, Voelkel, Lars

Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2008 Part 2, Issue 1, p69232M-69232M-9, 9p

Zobrazit plný text záznamu

Conference

193-nm resist roughness characterization and process propagation investigation using a CD-SEM.

Autor: Marschner, Thomas, Lee, Anice, Fuchs, Stefan, Voelkel, Lars, Stief, Christian

Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2004, Issue 1, p477-485, 9p

Zobrazit plný text záznamu

Conference

Optimization of the planarizing performance of a DUV organic bottom antireflective coating for via first dual-damascene process: cooperation to achieve material and process characterization.

Autor: Williams, Paul, Martin, Alice, Strobl, Marlene, Roberts, William R., Goodwin, Francis G., Voelkel, Lars, Feicke, Axel, Trautman, Sean, Lamb III, James E.

Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2000, Issue 1, p160-168, 9p

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.