Výsledky vyhledávání - "Viswanathan, R. G."

Conference

Looking into the crystal ball: future device learning using hybrid e-beam and optical lithography (Keynote Paper).

Autor: Steen, S. E., McNab, S. J., Sekaric, L., Babich, I., Patel, J., Bucchignano, J., Rooks, M., Fried, D. M., Topol, A. W., Brancaccio, J. R., Yu, R., Hergenrother, J. M., Doyle, J. P., Nunes, R., Viswanathan, R. G., Purushothaman, S., Rothwell, M. B.

Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2005, Issue 1, p26-34, 9p

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

Lithography and fabrication processes for sub-100 nm scale complementary metal-oxide semiconductor.

Autor: Wind, S. J., Taur, Y., Lee, Y. H., Mii, Y., Viswanathan, R. G., Bucchignano, J. J., Pomerene, A. T., Sicina, R. M., Milkove, K. R., Stiebritz, J. W., Roy, R. A., Hu, C. K., Manny, M. P., Cohen, S., Chen, W.

Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1995, Vol. 13 Issue 6, p2688-2695, 8p

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

X-ray mask fogging by electrons backscattered beneath the membrane @f|.

Autor: Christenson, K. K., Viswanathan, R. G., Hohn, F. J.

Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics Processing & Phenomena; 1990, Vol. 8 Issue 6, p1618-1623, 6p

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

A vector-scan thermal-field emission nanolithography system.

Autor: Gesley, M. A., Hohn, F. J., Viswanathan, R. G., Wilson, A. D.

Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics Processing & Phenomena; 1988, Vol. 6 Issue 6, p2014-2018, 5p

Zobrazit plný text záznamu