Zobrazeno 1 - 9
of 9
pro vyhledávání: '"Vaudrevange, D"'
Autor:
Apetz, R, Bergmann, K, Damen, M, Derra, G, Franken, O, Janssen, M, Jonkers, J, Klein, J, Kraus, H, Kruecken, T, List, A, Loeken, M, Mader, A, Metzmacher, C, Neff, W, Probst, S, Pruemmer, R, Rosier, O, Schwabe, S, Seiwert, S, Siemons, G, Vaudrevange, D, Wagemann, D, Weber, A, Zink, P
In this paper, we report on the recent progress of the Philips Extreme UV source. The Philips source concept is based on a discharge plasma ignited in a Sn vapor plume that is ablated by a laser pulse. Using rotating electrodes covered with a regener
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______1064::fe3de1aa97ec114ea61be05a142e6ebc
https://doi.org/10.1117/12.657066
https://doi.org/10.1117/12.657066
Autor:
Apetz, R, Bergmann, K, Damen, M, Derra, G, Franken, O, Janssen, M, Jonkers, J, Klein, J, Kraus, H, Kruecken, T, List, A, Loeken, M, Mader, A, Metzmacher, C, Neff, W, Probst, S, Pruemmer, R, Rosier, O, Schwabe, S, Seiwert, S, Siemons, G, Vaudrevange, D, Wagemann, D, Weber, A, Zink, P, Zitzen, O
Publikováno v:
Emerging Lithographic Technologies X, Pts 1 and 2 Conference on Emerging Lithographic Technologies X. 6151
In this paper, we report on the recent progress of the Philips Extreme UV source. The Philips source concept is based on a discharge plasma ignited in a Sn vapor plume that is ablated by a laser pulse. Using rotating electrodes covered with a regener
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______1064::a8f157a4431f23db6f4743c3383b0d3e
http://ora.ox.ac.uk/objects/uuid:9ceb6322-7cae-4d34-9fa9-78017dffbdb7
http://ora.ox.ac.uk/objects/uuid:9ceb6322-7cae-4d34-9fa9-78017dffbdb7
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Kniha
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.