Zobrazeno 1 - 2 of 2 pro vyhledávání: '"Vartuli, Catherine B."'
1
Conference
Dimensional metrology system of shape and scale in pattern transfer.
Autor: McIntosh, John M., Kane, Brittin C., Houge, Erik C., Vartuli, Catherine B., Mei, Xin
Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov2000 Part 2, Issue 1, p206-217, 12p
Zobrazit plný text záznamu
2
Conference
Approach to CD-SEM metrology utilizing the full waveform signal.
Autor: McIntosh, John M., Kane, Brittin C., Bindell, Jeffery B., Vartuli, Catherine B.
Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov1998, Issue 1, p51-60, 10p
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje