Zobrazeno 1 - 10
of 10
pro vyhledávání: '"V.V. Ustalov"'
Publikováno v:
12th International Conference Microwave and Telecommunication Technology.
Presented here are the results of selective plasma-chemical and chemical etching of multilevel structures with submicron element sizes. Plasma-chemical etching was performed in a PCR, with closed electron drift, and the chemically active ion energy w
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::4ad7516ce39b950a89e4c74b14c6679f
https://doi.org/10.1109/crmico.2002.1137275
https://doi.org/10.1109/crmico.2002.1137275
Publikováno v:
25th Anniversary, IEEE Conference Record - Abstracts. 1998 IEEE International Conference on Plasma Science (Cat. No.98CH36221).
Summary form only given, as follows. We have created a plasma chemical reactor with the operating axial-symmetric magnetic field. We have the possibility of checking in main working regime the energy of ions from 20 eV to 200 eV. The absence in a che
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::84ee10c50b972680fb59eedea3331756
https://doi.org/10.1109/plasma.1998.677812
https://doi.org/10.1109/plasma.1998.677812
Publikováno v:
2000 10th International Crimean Microwave Conference. "Microwave and Telecommunication Technology". Conference Proceedings (IEEE Cat. No.00EX415).
The results of physical and technological tests of the modernized plasma-chemical reactor are presented. The chemically active ion's energy may be controlled by the magnetic field intensity in the range from 15 eV to 100 eV. (If it is necessary the i
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::da764be45b1579ec701b2e65753dfc5e
https://doi.org/10.1109/crmico.2000.880281
https://doi.org/10.1109/crmico.2000.880281
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
2000 10th International Crimean Microwave Conference. Microwave & Telecommunication Technology. Conference Proceedings (IEEE Cat. No.00EX415); 2000, pN.PAG, 1p