Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"V.S. Lubeznov"'
Publikováno v:
2003 Siberian Russian Workshop on Electron Devices and Materials. Proceedings. 4th Annual (IEEE Cat. No.03EX664).
The origins of parameters deviation for MEMS, made in a MEMS and microtechnology research laboratory are analyzed. The relationship between the technology size deviation and the bare resonance mode is obtained, and the MEMS gyro sensitivity threshold
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::7d8f96ca67e8c993869253d4abdccb86
https://doi.org/10.1109/sredm.2003.1224180
https://doi.org/10.1109/sredm.2003.1224180
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.