Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"V.J. Malakhov"'
Autor:
V.J. Malakhov, A. O. Kozak, O. S. Lytvyn, O. K. Sinelnichenko, L.A. Ivashchenko, Volodymyr Ivashchenko, O. K. Porada, Tamara Tomila
Publikováno v:
Thin Solid Films. 569:57-63
Silicon carbon nitride (SiCN) thin films were deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition using hexamethyldisilazane at different nitrogen flow rates. Films were investigated by an atomic force microscope, X-ray diffraction spectroscopy, F
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::991a725b09c89e690e8c7080259ba32f
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2014.08.027
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2014.08.027
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.