Zobrazeno 1 - 10
of 66
pro vyhledávání: '"V.G. Shchukin"'
Autor:
Fan Zhang, V.A. Volodin, E.A. Baranov, V.O. Konstantinov, V.G. Shchukin, A.O. Zamchiy, M. Vergnat
Publikováno v:
Vacuum. 197:110796
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::eb371ca2f426f837416081d6f34b478f
https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2021.110796
https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2021.110796
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
R. G. Sharafutdinov, B. A. Kolesov, E. A. Baranov, M.V. Ponomarev, V.G. Shchukin, L.I. Fedina, A.V. Volkov, O.I. Semenova, P.P. Dobrovolsky, S. Ya. Khmel
Publikováno v:
Solar Energy Materials and Solar Cells. 89:99-111
A novel gas-jet electron beam plasma chemical vapor deposition method for high-rate deposition of silicon films is presented. The method is based on the activation of initial gas molecules by electron beam and fast convective transfer of the radicals
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::715c235a83db53bb88421e8befc6da98
https://doi.org/10.1016/j.solmat.2005.01.012
https://doi.org/10.1016/j.solmat.2005.01.012
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
2000 5th International Conference on Actual Problems of Electronic Instrument Engineering Proceedings. APEIE-2000. Devoted to the 50th Anniversary of Novosibirsk State Technical University. Vol.1 (Cat. No.00EX383).
Constructions of MW PGs and of reactors relevanted have been worked out, modes of ultrafine powders' and films' deposition of some metal nitrides out of their chlorides in nitrogen plasma now under atmosphere pressure have been researched. Process of
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::eceba20131e427e50c1669c495b6f327
https://doi.org/10.1109/apeie.2000.913079
https://doi.org/10.1109/apeie.2000.913079
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.