Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"V.F. Gancheva"'
Publikováno v:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 77:339-343
The electron beam induced current (EBIC) mode of the scanning electron microscope as well as the ion beam induced current (IBIC) mode of nuclear microprobes have been used for metal oxide silicon (MOS) IC observation. Two types of specimens have been
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::331b0a2650044f04eb76955b77edf7d6
https://doi.org/10.1016/0168-583x(93)95563-k
https://doi.org/10.1016/0168-583x(93)95563-k
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.