Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"Ultra thin Parylene deposition"'
Publikováno v:
Micro and Nano Systems Letters, Vol 6, Iss 1, Pp 1-7 (2018)
Abstract Thanks to the excellent barrier property and fabrication accessibility, Parylene has been actively used in the microelectromechanical system. An ultra-thin Parylene film with thickness smaller than 100 nm is usually required to precisely tun
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/fcc600d1745f4d47a38269d681ae9208
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.