Zobrazeno 1 - 10
of 46
pro vyhledávání: '"Ukraintsev, V.A."'
Publikováno v:
Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXXII, 10585
Charging of insulators is a complex phenomenon to simulate since the accuracy of the simulations is very sensitive to the interaction of electrons with matter and electric fields. In this study, we report model improvements for a previously developed
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::f4817e9fd2552e9e399ea4dfb18ced31
https://doi.org/10.1117/12.2297478
https://doi.org/10.1117/12.2297478
Publikováno v:
Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXX, 9778
Sanchez, M.I.Ukraintsev, V.A., 30th Conference on Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography, 22-25 February 2016, 9778
Sanchez, M.I.Ukraintsev, V.A., 30th Conference on Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography, 22-25 February 2016, 9778
Optical near-field technologies such as solid immersion lenses and hyperlenses are candidate solutions for high resolution and high throughput wafer inspection and metrology for the next technology nodes. Besides sub-diffraction limited optical perfo
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::a73f5966eaeee4151c7f9e7bab2d2df0
https://doi.org/10.1117/12.2218877
https://doi.org/10.1117/12.2218877
Autor:
Ukraintsev, V.A., Walsh, S.T., Ashburn, S.P., Machala, C.F., Edwards, H., Gray, J.T., Joshi, S., Woodall, D., Chang, M.-C.
Publikováno v:
International Electron Devices Meeting 1999 Technical Digest (Cat No99CH36318); 1999, p349-352, 4p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.