Zobrazeno 1 - 7
of 7
pro vyhledávání: '"U, Elisa"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Vertical metrology using scanning-probe microscopes: Imaging distortions and measurement repeatabily
Publikováno v:
Journal of Applied Physics; 4/15/1998, Vol. 83 Issue 8, p3952, 20p, 28 Black and White Photographs, 4 Diagrams, 11 Charts, 12 Graphs
Autor:
Thierry Nguyen, Jim McWhirter, U Elisa, Stephen Morris, Chris Collings, Jonathan VanBuskirk, Vladimir Zhukov, Heath Pois, Saroja Ramamurthi, Sue Kelso
Publikováno v:
AIP Conference Proceedings.
As the gate dielectric has scaled to the sub 3 nanometer regime, demands on gate dielectric thickness control have translated into the need for sub‐monolayer precision on thickness measurements. While current ellipsometry techniques are capable of
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::15da02e01c6dbaa43aef30a3237f54c2
https://doi.org/10.1063/1.2062948
https://doi.org/10.1063/1.2062948
Autor:
U., Elisa, VanBuskirk, Jonathan, Pois, Heath, Zhukov, Vladimir, Morris, Stephen, Kelso, Sue, Collings, Chris, McWhirter, Jim, Nguyen, Thierry, Ramamurthi, Saroja
Publikováno v:
AIP Conference Proceedings; 2005, Vol. 788 Issue 1, p119-123, 5p
Publikováno v:
In Computer Standards & Interfaces 1999 21(2):195-195
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Edwards, Hal, McGlothlin, Rudye, San Martin, Richard, U, Elisa, Gribelyuk, Michael, Mahaffy, Rachel, Ken Shih, C., List, R. Scott, Ukraintsev, Vladimir A.
Publikováno v:
Applied Physics Letters; 2/9/1998, Vol. 72 Issue 6, 11 Diagrams