Zobrazeno 1 - 5
of 5
pro vyhledávání: '"Tze Kun Ku"'
Autor:
P. W. Wang, Huang-Chung Cheng, Chi Chang Wang, B. B. Hsieh, Iing Jar Hsieh, Maw S. Chen, Tze Kun Ku
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
High aspect-ratio single-crystal microtips have been fabricated using the semi-anisotropic dry etching technique. After the further oxidation sharpening process, arrays of 50 X 50 uniform sharp emitter tips has been achieved. The 200 angstrom-thick C
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::c5d181eaa07d3a649158ef8052319310
https://doi.org/10.1117/12.220935
https://doi.org/10.1117/12.220935
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
The structure of Pd-silicided field emitters based on the silicon micromachining technology has been demonstrated. The uniform and extremely sharp silicided emitters are formed using wet chemical etching, low-temperature oxidation sharpening, coating
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::b925fcf52e182d90e15c8ae5e7307835
https://doi.org/10.1117/12.220936
https://doi.org/10.1117/12.220936
Autor:
Ming-Shang Chen, Chih-Chong Wang, Tze-Kun Ku, Ming-Shiann Feng, Huang-Chung Cheng, Iing-Jar Hsieh, Wen-Fang Lee
Publikováno v:
Japanese Journal of Applied Physics. 34:L85
A new fabrication technology has been used for field-emission triodes with the emitter-gate separation as small as 0.18 µ m to reduce the turn-on and anode voltages. The technology is based on the thermal oxidation of silicon and low-pressure chemic
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::5ec70f237e08ac062920bf9b6c99d78a
https://doi.org/10.7567/jjap.34.l85
https://doi.org/10.7567/jjap.34.l85
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.