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pro vyhledávání: '"Tsunehiro Shimozaki"'
Publikováno v:
Journal of Ion Exchange. 16:157-163
半導体製造に不可欠な超純水は近年超高純度な水質が要求されるとともに, その使用量が大量であるため, 環境問題やコストと相まっていろいろな技術が応用駆使されている。その中でも
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::f1ec8c3ce62b67b6a8ae5d9d90a0defc
https://doi.org/10.5182/jaie.16.157
https://doi.org/10.5182/jaie.16.157
