Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"Tripathi, Ashok Burton"'
Publikováno v:
In-situ diagnostics for metalorganic chemical vapor deposition of YBCO [electronic thesis]
Thesis (Ph. D.). PQ #3011605.
Includes bibliographical references.
Includes bibliographical references.
Externí odkaz:
http://resolver.caltech.edu/CaltechETD:etd-09262005-143545
Autor:
Tripathi, Ashok Burton
A new stagnation flow MOCVD research reactor is described that is designed to serve as a testbed to develop tools for "intelligent" thin film deposition, such as in-situ sensors and diagnostics, control algorithms, and thin film growth models. The re
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.