Zobrazeno 1 - 1
of 1
pro vyhledávání: '"Transition Metal Nitriedes"'
Autor:
Zuzana Čiperová, S. Zenkin, Radomír Čerstvý, Stanislav Haviar, Jindřich Musil, Šimon Kos, Martin Jaroš
Publikováno v:
Japanese Journal of Applied Physics. 58:SAAD10
Článek pojednává o přípravě silně nadstechiometrických povlaků ZrNx>1 a Ti(Al,V)Nx>1 reaktivním magnetronovým naprašováním. Jsou diskutovány problémy přípravy nadstechiometrických povlaků a možnosti, jak vytvořit silně nadstec