Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"Tovarnov, D. A."'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
null Tovarnov D. A., null Lychev S. A., null Kireev V. Y., null Djuzhev N. A., null Gusev E. E., null Glagolev P. Y., null Dedkova A. A.
Publikováno v:
Technical Physics. 92:2033
The features of thin-film membranes, which are formed above round holes in silicon substrates using the Bosch-process are considered. The membrane has a complex shape due to the presence of the stress state of the initial films. The analysis of the d
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.