Zobrazeno 1 - 7
of 7
pro vyhledávání: '"Tokunaga, Hikaru"'
Autor:
Saito Daigo, Karasawa Ryo, Hashimoto Keisuke, Hirokazu Nishimaki, Tokunaga Hikaru, Endo Takafumi, Rikimaru Sakamoto
Publikováno v:
Journal of Photopolymer Science and Technology. 30:373-378
In advanced lithography technology, high planarity SOC (Spin-on-Carbon) materials which can planarize topography substrates are required in order to obtain enough process margin. We developed photo curing SOC (P-SOC) materials which can be cross-link
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::61ec7055adf8843a77bf4c7d3e9da1ef
https://doi.org/10.2494/photopolymer.30.373
https://doi.org/10.2494/photopolymer.30.373
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
TOKUNAGA, Hikaru
Publikováno v:
一橋法学. 1(3):807-860
論文タイプ||論説
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=jairo_______::722de7f2265432866a3ca953d5ee49ea
https://hdl.handle.net/10086/8792
https://hdl.handle.net/10086/8792
Autor:
Tokunaga, Hikaru
Publikováno v:
一橋研究. 25(2):1-28
論文タイプ||論説
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=jairo_______::d05d64108fa2e7ca82efd729ec65d46c
https://hdl.handle.net/10086/5671
https://hdl.handle.net/10086/5671
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Kobunshi Ronbunshu; 2015, Vol. 72 Issue 10, p606-616, 11p
Autor:
Hohle, Christoph K., Gronheid, Roel, Endo, Takafumi, Sakamoto, Rikimaru, Hashimoto, Keisuke, Saito, Daigo, Nishimaki, Hirokazu, Karasawa, Ryo, Tokunaga, Hikaru
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; March 2017, Vol. 10146 Issue: 1 p1014625-1014625-7