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pro vyhledávání: '"Thomas Sulzback"'
Autor:
Tzvetan Ivanov, Bernd Schmidt, D. Filenko, Michael Zier, Nikolaj Nikolov, Teodor Gotszalk, Denis Dontsov, Ivo W. Rangelow, K. Ivanova, Burkhard E. Volland, Arun Persaud, Thomas Sulzback, Y. Sarov
Publikováno v:
tm - Technisches Messen. 73:485-492
Der Artikel beschreibt die Realisierung von piezoresistiven Cantilever-Arrays für die Raster-Kraft-Mikroskopie. Sensoren für die Raster-Sonden-Mikroskopie (RSM) sind aus physikalischer Sicht faszinierende Mikrosysteme, da sie durch geeignete Kombin