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pro vyhledávání: '"Thin films analysis (SEM"'
Autor:
El Farsy, Abderzak
La thèse s’inscrit dans la problématique du dépôt de couches minces en procédés de pulvérisation réactive cathodique magnétron continu basse puissance (R-DC) et pulsé haute puissance (R-HiPIMS). Le mode réactif consiste à ajouter, dans
Externí odkaz:
http://www.theses.fr/2019LORR0085
Autor:
El Farsy, Abderzak
Publikováno v:
Physique [physics]. Université de Lorraine, 2019. Français. ⟨NNT : 2019LORR0085⟩
The growth of thin layers in reactive-direct current magnetron sputtering (R-DC) and reactive-high power impulse magnetron sputtering (R-HiPIMS) processes is the general framework of this PhD. Reactive processes consist in the addition, in argon gas,
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::6717fc18ab26891846eddc14639f69d0
https://hal.univ-lorraine.fr/tel-02351136/file/DDOC_T_2019_0085_EL_FARSY.pdf
https://hal.univ-lorraine.fr/tel-02351136/file/DDOC_T_2019_0085_EL_FARSY.pdf