Zobrazeno 1 - 10 of 50 pro vyhledávání: '"Teugels, L. G."'
1
Akademický článek
Chemical Mechanical Polishing of Chemical Vapor Deposited Co Films with Minimal Corrosion in the Cu/Co/Mn/SiCOH Patterned Structures.
Autor: Sagi, K. V., Teugels, L. G., van der Veen, M. H., Struyf, Herbert, Alety, S. R., Babu, S. V.
Publikováno v: ECS Journal of Solid State Science & Technology; 2017, Vol. 6 Issue 5, p276-283, 8p
Zobrazit plný text záznamu
2
Akademický článek
Chemical Mechanical Polishing and Planarization of Mn-Based Barrier/Ru Liner Films in Cu Interconnects for Advanced Metallization Nodes.
Autor: Sagi, K. V., Teugels, L. G., van der Veen, M. H., Struyf, Herbert, Babu, S. V.
Publikováno v: ECS Journal of Solid State Science & Technology; 2017, Vol. 6 Issue 5, p259-264, 6p
Zobrazit plný text záznamu
3
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
4
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
5
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
6
Akademický článek
高端电子制程中钴化学机械抛光剂的研究进展(II) ──配位剂、抑制剂、磨料及其他 (Chinese)
Autor: 段欣雨, 万传云, 吴兆键, 张玫姣, 倪哲易
Publikováno v: Electroplating & Finishing; 2023, Vol. 42 Issue 9, p45-51, 7p
Zobrazit plný text záznamu
7
Akademický článek
Influence of local chemical environment and external perturbations of porphyrins on surfaces.
Autor: Ortiz-Garcia, José J., Quardokus, Rebecca C.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; May2023, Vol. 41 Issue 3, p1-16, 16p
Zobrazit plný text záznamu
8
Akademický článek
用于钴互连 CMP 抛光液的研究进展. (Chinese)
Autor: 刘江皓, 牛新环, 闫 晗, 屈明慧, 罗 付
Publikováno v: Electronic Components & Materials; 2023, Vol. 42 Issue 2, p137-143, 7p
Zobrazit plný text záznamu
9
Akademický článek
Advanced polishing, grinding and finishing processes for various manufacturing applications: a review.
Autor: Zhong, Zhao-Wei1 (AUTHOR) mzwzhong@ntu.edu.sg
Publikováno v: Materials & Manufacturing Processes. 2020, Vol. 35 Issue 12, p1279-1303. 25p.
Zobrazit plný text záznamu
10
Akademický článek
18-冠醚-6 对金属 Co 在化学机械抛光液中腐蚀的影响. (Chinese)
Autor: 朱甜甜, 胡连军, 王昊, 刘玉岭, 潘国峰
Publikováno v: Electroplating & Finishing; 2022, Vol. 41 Issue 11, p811-816, 6p
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje