Zobrazeno 1 - 10
of 14
pro vyhledávání: '"Terui, Yoshiharu"'
Nano-Structures Stiction Suppression by Molecular Structure Optimized Surface Energy Reduction Agent
Autor:
Hiroyasu Iimori, Soichi Kumon, Tatsuhiko Koide, Shinsuke Kimura, Yoshihiro Ogawa, Katsuhiro Sato, Tomohiko Sugita, Terui Yoshiharu, Okumura Yuzo
Publikováno v:
ECS Transactions. 80:53-60
Introduction Ceaseless scaling of semiconductor devices has caused nano-structure stiction issues during drying step of wafer cleaning. The following mechanism is considered to explain nano-structure stiction. Capillary force of remaining liquid in o
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::2321c44219cdd7249a4350cbeee6bf17
https://doi.org/10.1149/08002.0053ecst
https://doi.org/10.1149/08002.0053ecst
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Nano-Structures Stiction Suppression by Molecular Structure Optimized Surface Energy Reduction Agent
Autor:
Koide, Tatsuhiko, Kimura, Shinsuke, Iimori, Hiroyasu, Sugita, Tomohiko, Sato, Katsuhiro, Kumon, Soichi, Terui, Yoshiharu, Okumura, Yuzo, Ogawa, Yoshihiro
Publikováno v:
ECS Transactions; August 2017, Vol. 80 Issue: 2 p53-60, 8p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Ito, Hiroshi, Sundberg, Linda K., Bozano, Luisa, Lofano, Elizabeth M., Yamanaka, Kazuhiro, Terui, Yoshiharu, Fujiwara, Masaki
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2009 Part 2, Issue 1, p72733H-72733H-12, 12p
Autor:
Terui, Yoshiharu, Ando, Shinji
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2005, Issue 1, p336-343, 8p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Terui, Yoshiharu, Ando, Shinji
Publikováno v:
High Performance Polymers; Oct2006, Vol. 18 Issue 5, p825-836, 12p
Publikováno v:
Journal of Polymer Science Part B: Polymer Physics; August 2005, Vol. 43 Issue: 15 p2109-2120, 12p
Autor:
Terui, Yoshiharu, Ando, Shinji
Publikováno v:
Journal of Polymer Science Part B: Polymer Physics; 15 June 2004, Vol. 42 Issue: 12 p2354-2366, 13p