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Autor:
Tadeusz Gryba, X. Lansiaux, Elhadj Dogheche, Denis Remiens, Véronique Sadaune, Stéphanie Chauvin
Publikováno v:
Japanese Journal of Applied Physics. 42:572-574
Lithium niobate (LiNbO3) films have been grown at 490°C on diamond-coated silicon substrates by radio-frequency magnetron sputtering. A multi-step process was developed to produce thick layers on diamond with a good structure and a smooth morphology
Publikováno v:
Applied Physics Letters. 81:1329-1331
Surface acoustic wave (SAW) technology based on lithium niobate/diamond/silicon multilayered structures has been investigated due to the large demand of frequency filters for communication systems, particularly for cellular phones. Thick LiNbO3 layer
Publikováno v:
Actes du 10ème Congrès Français d'Acoustique, CFA 10
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National audience; This paper reports on design, fabrication and experimental testing of one port ZnO piezoelectric contour- mode MEMS resonator. This is a rectangular plate formed by ZnO layer between two electrodes platinum and aluminium. A vertica
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https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00541390/document
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Publikováno v:
Proceedings of the 3rd International Conference on Advanced Manufacture, ICAM 2010
3rd International Conference on Advanced Manufacture, ICAM 2010
3rd International Conference on Advanced Manufacture, ICAM 2010, 2010, ", Taiwan. CDROM, session 4B, paper 012, 1-6
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3rd International Conference on Advanced Manufacture, ICAM 2010
3rd International Conference on Advanced Manufacture, ICAM 2010, 2010, ", Taiwan. CDROM, session 4B, paper 012, 1-6
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https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::b4fa6a1ad21d9f3737eacd750b8bccbc
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00568980
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Publikováno v:
Japanese Journal of Applied Physics, part 1 : Regular papers, Short Notes
Japanese Journal of Applied Physics, part 1 : Regular papers, Short Notes, 2003, 42, pp.572-574
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Japanese Journal of Applied Physics, part 1 : Regular papers, Short Notes, 2003, 42, pp.572-574
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https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00145970
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Publikováno v:
Applied Physics Letters
Applied Physics Letters, American Institute of Physics, 2002, 81, pp.1329-1331
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Applied Physics Letters, 2002, 81, pp.1329-1331
Applied Physics Letters, American Institute of Physics, 2002, 81, pp.1329-1331
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Applied Physics Letters, 2002, 81, pp.1329-1331
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Publikováno v:
Journées Nationales du Réseau Doctoral de Microélectronique
Journées Nationales du Réseau Doctoral de Microélectronique, 2001, Strasbourg, France
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Journées Nationales du Réseau Doctoral de Microélectronique, 2001, Strasbourg, France
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https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00151739
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Publikováno v:
8èmes Journées Nationales Micro et Optoélectronique, JNMO'2001
8èmes Journées Nationales Micro et Optoélectronique, JNMO'2001, 2001, Aussois, France
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8èmes Journées Nationales Micro et Optoélectronique, JNMO'2001, 2001, Aussois, France
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https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00151736
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Publikováno v:
Journées Couches minces Ferroélectriques, JCF2001
Journées Couches minces Ferroélectriques, JCF2001, 2001, Maubeuge, France
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Journées Couches minces Ferroélectriques, JCF2001, 2001, Maubeuge, France
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https://hal.science/hal-00250400
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Publikováno v:
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Actes du 6ème Congrès Français d'Acoustique, CFA 2002
6ème Congrès Français d'Acoustique, CFA 2002
6ème Congrès Français d'Acoustique, CFA 2002, 2002, France. pp.805-808
6ème Congrès Français d'Acoustique, CFA 2002, 2002, Lille, France. pp.805-808
Actes du 6ème Congrès Français d'Acoustique, CFA 2002
6ème Congrès Français d'Acoustique, CFA 2002
6ème Congrès Français d'Acoustique, CFA 2002, 2002, France. pp.805-808
6ème Congrès Français d'Acoustique, CFA 2002, 2002, Lille, France. pp.805-808
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https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00250198
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