Zobrazeno 1 - 10
of 31
pro vyhledávání: '"Ta(C)N"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Glechner, Thomas
Carbide und Nitride der fr��hen ��bergangsmetalle sind weit verbreitet als Schutz - und Verschlei�� mindernde Schichten aufgrund ihrer hohen H��rte und chemischen Best��ndigkeit. Unter ihnen besitzt Tantal-Carbid (Ta-C) den h�
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::9bc327677ddf5b119bdad328f071cd67
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Piallat, Fabien
L'intégration du métal dans les nœuds technologiques sub-20 nm requiert une conformité supérieure à celle permise par la PVD. Les techniques de CVD, plus spécifiquement la MOCVD et l'ALD, ont été identifiées comme les meilleures solutions p
Externí odkaz:
http://www.theses.fr/2014GRENT015/document
Autor:
Piallat, Fabien
Publikováno v:
Micro and nanotechnologies/Microelectronics. Université de Grenoble, 2014. English
Micro and nanotechnologies/Microelectronics. Université de Grenoble, 2014. English. ⟨NNT : ⟩
Micro and nanotechnologies/Microelectronics. Université de Grenoble, 2014. English. ⟨NNT : ⟩
For the sub-20 nm technological nodes metal conformity requirements are beyond the possibilities of the currently used PVD deposition technique. CVD techniques, more specifically MOCVD and ALD, are identified as the best techniques for metal depositi
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::b53ff32cfbf9cdb2fbef71d6c71ff92a
https://hal.archives-ouvertes.fr/tel-01267650
https://hal.archives-ouvertes.fr/tel-01267650
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.