Zobrazeno 1 - 10
of 54
pro vyhledávání: '"T.J. Wagener"'
Autor:
B.D. Speldrich, I. Glasgow, J.D. Zook, J.A. Cox, T.J. Wagener, Thomas R. Ohnstein, T.R. Christenson, Henry Guckel, E.T. Klein
Publikováno v:
Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems. 1995.
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::d1ea357e00b739290bd79d126921cdd4
https://doi.org/10.1109/memsys.1995.472585
https://doi.org/10.1109/memsys.1995.472585
Autor:
K. Kawaguchi, T.J. Wagener
Publikováno v:
2004 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop (IEEE Cat. No.04CH37530).
In this paper, cryogenic aerosol processing for enhancing final device yield in state-of-art 180 and 130 nm devices is demonstrated. Significant advantages of this particle removal technology is demonstrated and discussed: excellent particle removal
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::1bc188525cb46698f4b31aa9349962eb
https://doi.org/10.1109/asmc.2004.1309616
https://doi.org/10.1109/asmc.2004.1309616
Publikováno v:
2003 5th International Conference on ASIC. Proceedings (IEEE Cat. No.03TH8690).
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::96235720fa39629e0979635ae2f26727
https://doi.org/10.1109/issm.2003.1243331
https://doi.org/10.1109/issm.2003.1243331
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.