Zobrazeno 1 - 10
of 21
pro vyhledávání: '"T. van der Zwaag"'
Publikováno v:
Chemie Ingenieur Technik. 92:1316-1317
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::6f972a6611de4607f36b1f09f9dc836d
https://doi.org/10.1002/cite.202055259
https://doi.org/10.1002/cite.202055259
Autor:
Se-Jin Yook, Jing Wang, F. Eschbach, Thomas Engelke, T. van der Zwaag, Christof Asbach, Jung Hyeun Kim, David Y.H. Pui, Heinz Fissan
Publikováno v:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing. 21:238-243
Particulate contamination of masks is a serious challenge in extreme ultraviolet lithography (EUVL) technology due to the unavailability of conventional pellicles. EUVL mask surface inspection tools, operated at low pressure, are used not only for ma
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::cbeac93e93b2cd74f729c73fa1e0eeb5
https://doi.org/10.1109/tsm.2008.2000266
https://doi.org/10.1109/tsm.2008.2000266
Publikováno v:
Powder Technology. 180:97-101
Realization of the power plant concept with pressurized pulverized coal combustion (PPCC) needs a flue gas nearly free of particulate matter with respect to gas turbine life cycle. Current studies at the pilot plant of the PPCC-development project in
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::d210e925eaf9f9221b866681d5412141
https://doi.org/10.1016/j.powtec.2007.03.011
https://doi.org/10.1016/j.powtec.2007.03.011
Autor:
Christof Asbach, Se-Jin Yook, Thomas Engelke, David Y.H. Pui, Jung Hyeun Kim, Heinz Fissan, T. van der Zwaag, Pei-Yang Yan
Publikováno v:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing. 20:176-186
In extreme ultraviolet lithography (EUVL), conventional pellicles are unavailable for protecting the EUVL masks, since they highly absorb the EUV radiation. One of the serious challenges is therefore to prevent particulate contamination of the EUVL m
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::c9f227336e1b1f02c378bfbc44c997f0
https://doi.org/10.1109/tsm.2007.895213
https://doi.org/10.1109/tsm.2007.895213
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Chemie Ingenieur Technik. 75:1008-1009
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::561b05da04ce4a37ce403f254a891a89
https://doi.org/10.1002/cite.200390180
https://doi.org/10.1002/cite.200390180
Autor:
Heinz Fissan, T. van der Zwaag, Se-Jin Yook, David Y.H. Pui, Thomas Engelke, Christof Asbach, Jung Hyeun Kim
Publikováno v:
Chemie Ingenieur Technik. 77:1216-1216
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::49cdd60c29cb6b8f036cde871ee2060c
https://doi.org/10.1002/cite.200580036
https://doi.org/10.1002/cite.200580036
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Kniha
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.