Zobrazeno 1 - 4
of 4
pro vyhledávání: '"T. Strüning"'
Autor:
Th. Gischkat, D. Schachtler, F. Steger, Z. Balogh-Michels, B. Vetsch, T. Strüning, J. Birkhölzer, M. Michler, Ch. Mühlig, S. Schwinde, M. Trost, S. Schröder, A. Borzi, A. Neels
In thin film deposition processes, the lower limit of the deposition temperature is determined by the used coating technology and the duration of the coating process and is usually higher than room temperature. Hence, the processing of thermally sens
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::9b0c949cf78b534310d853c9e486daab
https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/437373
https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/437373
Autor:
Th. Gischkat, D. Schachtler, F. Steger, Z. Balogh-Michels, R. Botha, B. Vetsch, T. Strüning, J. Birkhölzer, M. Michler, Ch. Mühlig, S. Schwinde, M. Trost, S. Schröder, A. Borzi, A. Neels
Publikováno v:
Optical Interference Coatings Conference (OIC) 2022.
The effect of low temperature ion beam sputtering on thin film properties was investigated. The SiO2 and Ta2O5 films grown at 0°C show a trend of lower optical losses and higher LIDT compared to 100°C.
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::b2088494e10cd061317bc7438b146ed4
https://doi.org/10.1364/oic.2022.thc.6
https://doi.org/10.1364/oic.2022.thc.6
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.