Zobrazeno 1 - 4
of 4
pro vyhledávání: '"Sundarapandian, Balasubramanian"'
Autor:
Singh, Radhakant, Raghuwanshi, Mohit, Sundarapandian, Balasubramanian, Thomas, Rijil, Kirste, Lutz, Suckow, Stephan, Lemme, Max
We report the fabrication and characterization of photonic waveguides from sputtered aluminum nitride (AlN). The AlN films were deposited on 6" silicon substrates with a 3 $\mu$m buried silicon oxide layer using reactive DC magnetron sputtering at a
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/2408.09864
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Sundarapandian, Balasubramanian, Yassine, Ali, Kirste, Lutz, Baeumler, Martina, Straňák, Patrik, Fisslthaler, Evelin, Prescher, Mario, Yassine, Mohamed, Nair, Akash, Raghuwanshi, Mohit, Ambacher, Oliver
Publikováno v:
Journal of Applied Physics; 11/14/2023, Vol. 134 Issue 18, p1-10, 10p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.