Zobrazeno 1 - 10
of 13
pro vyhledávání: '"Stettler, Silvan"'
Data rates and volume for mobile communication are ever-increasing with the growing number of users and connected devices. With the deployment of 5G and 6G on the horizon, wireless communication is advancing to higher frequencies and larger bandwidth
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/2408.17282
We report on the fabrication of a Hybrid SAW/BAW resonator made of a thin layer of Sc-doped AlN (AlScN) with a Sc concentration of 40 at% on a 4H-SiC substrate. A Sezawa mode, excited by a vertical electric field, exploits the d31 piezoelectric coeff
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/2407.20286
Deep Ultraviolet (DUV) Photolithography is currently used to fabricate mass-scale integrated circuits (ICs). Its high throughput and resolution could benefit large-scale RF MEMS production for the telecommunication market. We present a process flow t
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/2407.15213
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
2022 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS).
Thin-film lithium niobate (LNO) has been identified as a promising material platform for enabling high electromechanical coupling and low-loss piezoelectric resonators for filtering applications. In this work, the design and fabrication of fundamenta
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::2e361a3d8ea85e7739e35c54ca861da5
https://doi.org/10.1109/ius54386.2022.9957511
https://doi.org/10.1109/ius54386.2022.9957511
Publikováno v:
Journal of Microelectromechanical Systems; 2023, Vol. 32 Issue: 3 p279-289, 11p
This work reports on the design and fabrication of fundamental shear horizontal (SH0) mode acoustic resonators based on a suspended lithium niobate (LNO) film at 1.04 GHz. Due to the large e16 piezoelectric coefficient of YX36 degrees.-cut LNO, fabri
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od_______185::f4a10e98f291b7e25ae887d4d28d4137
https://infoscience.epfl.ch/record/302234
https://infoscience.epfl.ch/record/302234