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pro vyhledávání: '"Stegemann, Daniel"'
Autor:
Richter, Claudia, Stegemann, Daniel, Vierheller, Anke, Gothsch, Thomas, Finke, Jan Henrik, Kwade, Arno, Müller-Goymann, Christel Charlotte, Dietzel, Andreas, Büttgenbach, Stephanus
Publikováno v:
In Microelectronic Engineering October 2013 110:392-397