Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"Stefan Dauer"'
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
A laser-assisted technology for the fabrication of micro electro mechanical system has been developed. This method allows micromachining of bulk silicon wafers and silicon membranes by using a Q-switched Nd:YAG-laser with optional frequency doubling.
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::e98f98050e154080db505b9af30b03da
https://doi.org/10.1117/12.341182
https://doi.org/10.1117/12.341182
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.