Zobrazeno 1 - 8
of 8
pro vyhledávání: '"Stateikina, Irina"'
Autor:
Stateikina, Irina
The fabrication processes of recent MEMS devices require the use of anisotropic etching and variety of concave structures. Analysis of these structures uncovered phenomenon in the etch rates of surfaces exposed by anisotropic etchant. This phenomenon
Externí odkaz:
http://spectrum.library.concordia.ca/975298/1/NR30139.pdf
Autor:
Mortazy, Ebrahim a, *, Stateikina, Irina b, Tehranchi, Amirhossein a, Delprat, Sébastien b, Chaker, Mohamed b, Wu, Ke a
Publikováno v:
In Microelectronic Engineering March 2011 88(3):218-221
Autor:
Weimer, Matthew, Stateikina, Irina, Harris, Sara, Lindblad, Dane, Guilmain, Marc, Gaudreau-Miron, Xavier, Dameron, Arrelaine A
Publikováno v:
ECS Meeting Abstracts; 2024, Vol. MA2024 Issue 2, p2214-2214, 1p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Nanotechnology & Microelectronics; May2021, Vol. 39 Issue 3, p1-8, 8p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Mortazy, Ebrahim1 ebrahim.mortazy@polymtl.ca, Stateikina, Irina2, Tehranchi, Amirhossein1, Delprat, Sébastien2, Chaker, Mohamed2, Wu, Ke1
Publikováno v:
Microelectronic Engineering. Mar2011, Vol. 88 Issue 3, p218-221. 4p.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.