Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"Standaert, Th"'
Autor:
Chen, James Hsueh-Chung, Fan, Susan Su-Chen, Standaert, Theodorus E., Spooner, Terry A., Paruchuri, Vamsi
Publikováno v:
AMC 2015 – Advanced Metallization Conference
In this paper, a study of tungsten metallization in advanced BEOL interconnects is presented. A mature 10 nm process is used for comparison between the tungsten and conventional copper metallization. Wafers were processed together till M1 dual-damasc
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.