Zobrazeno 1 - 2 of 2 pro vyhledávání: '"Springer, Goetz"'
1
Conference
Investigation of the influence of different copper slurry systems on post CMP topography performance.
Autor: Springer, Goetz, Thieme, Peter, Klose, Pierre
Publikováno v: MRS Online Proceedings Library; 2004, Vol. 816 Issue 1, p121-128, 8p
Zobrazit plný text záznamu
2
Conference
A CMP Numerical Model Combining Die Scale and Feature Scale Polishing Characteristics.
Autor: Delage, Stéphanie, Meyer, Frank, Springer, Goetz
Publikováno v: MRS Online Proceedings Library; 2001, Vol. 671 Issue 1, p1-6, 6p
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje