Zobrazeno 1 - 7
of 7
pro vyhledávání: '"Spartz Martin L"'
Autor:
Richter, Matt, Spartz, Martin L., Solomon, Peter R., Rosenthal, Peter A., Mundt, Randall, Perry, Andrew, Nelson, Chad
Publikováno v:
Solid State Technology. May99, Vol. 42 Issue 5, p61. 7p. 1 Diagram, 4 Graphs.
Autor:
A. Bonanno, A. Perry, Chad M. Nelson, Victor A. Yakovlev, Jiazhan Xu, M. Richter, Peter R. Solomon, Peter Rosenthal, B. Cordts, W. Aarts, L.P. Allen, S. Charpenay, Aaron E. Gower, M.W. Brandt, Spartz Martin L, A. Waldhauer, Duane S. Boning, R. Mundt, T. Smith, W. Zhang
Publikováno v:
The 1998 international conference on characterization and metrology for ULSI technology.
Fourier transform infrared (FTIR) spectroscopy has emerged as an attractive sensor for in-situ monitoring and control of semiconductor fabrication processes. New applications are being enabled by advances in FTIR hardware and software that provide fo
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::20da31954a92987d82cf9cbdb13e4188
https://doi.org/10.1063/1.56898
https://doi.org/10.1063/1.56898
Autor:
Spartz, Martin L., Witkowski, Mark R., Fateley, Jonathan H., Hammaker, Robert M., Fateley, William G., Carter Jr., Ray E., Thomas, Mark J., Lane, Dennis D., Marotz, Glen A., Fairless, Billy J., Holloway, T., Hudson, Jody L., Arello, Joseph, Gurka, D. F.
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov1990, Issue 1, p236-246, 11p
Publikováno v:
Applied Spectroscopy; November 1997, Vol. 51 Issue: 11 p1656-1667, 12p
Autor:
Witkowski, Mark R., Chaffin Jr., Charles T., Marshall, Timothy L., Spartz, Martin L., Fateley, Jonathan H., Hammaker, Robert M., Fateley, William G., Carter Jr., Ray E., Lane, Dennis D., Marotz, Glen A., Fairless, Billy J., Hudson, Jody L., Arello, Joseph, Thomas, Mark J., Gurka, D. F.
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov1992, Issue 1, p340-341, 2p
Periodical
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Spartz, Martin L.
Publikováno v:
Journal of the American Chemical Society. 12/27/95, Vol. 117 Issue 51, p12902. 2p.