Zobrazeno 1 - 10
of 16
pro vyhledávání: '"Song Taeho"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Jinhee Kim, Kim Sojung, Young-Soo Park, Jae-Sun Jung, Changbong Yeon, Lee Seokjong, Kok Chew Tan, Byun Hyeran, Song Taeho
Publikováno v:
AIP Advances, Vol 11, Iss 1, Pp 015218-015218-9 (2021)
A novel atomic layer deposition (ALD) that utilizes tertiary alkyl (tert-alkyl) halides as both growth activator and inhibitor is introduced and demonstrated for the deposition of a low resistive TiN film using TiCl4 and NH3. Among the alkyl halides,
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::3626272571919f0a0aba4cecaa7d8647
https://doaj.org/article/5d40e166138d4843b4c03549ff0f0372
https://doaj.org/article/5d40e166138d4843b4c03549ff0f0372
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
2012 International Symposium on Antennas & Propagation (ISAP); 1/ 1/2012, p1281-1284, 4p
Publikováno v:
2012 IEEE International Workshop on Antenna Technology (iWAT); 1/ 1/2012, p277-280, 4p
Publikováno v:
2012 Asia Pacific Microwave Conference Proceedings; 1/ 1/2012, p705-707, 3p
Publikováno v:
2012 Asia Pacific Microwave Conference Proceedings; 1/ 1/2012, p616-618, 3p
Publikováno v:
Proceedings of the 2012 IEEE International Symposium on Antennas & Propagation; 1/ 1/2012, p1-2, 2p
Publikováno v:
Proceedings of the 2012 IEEE International Symposium on Antennas & Propagation; 1/ 1/2012, p1-2, 2p