Zobrazeno 1 - 10
of 54
pro vyhledávání: '"Soderbarg, A."'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
A. Soderbarg
Publikováno v:
IEEE SOS/SOI Technology Conference.
Summary form only given. Silicon sensors with membrane structures or fabrication of bonding and etch-back silicon-on-insulator (BESOI) materials are commonly produced using p/sup +/-doped silicon as an effective etch stop in EDP or KOH solutions. It
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::4a0df16e34e1352f0275ba7030c3b1ac
https://doi.org/10.1109/soi.1989.69767
https://doi.org/10.1109/soi.1989.69767
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
ICMTS 1999 Proceedings of 1999 International Conference on Microelectronic Test Structures (Cat No99CH36307); 1999, p135-140, 6p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Proceedings of International Electron Devices Meeting; 1995, p975-978, 4p