Výsledky vyhledávání - "Smeys, Peter I. L."

Akademický článek

Material properties of low pressure chemical vapor deposited silicon nitride for modeling and calibrating the simulation of advanced isolation structures.

Autor: Smeys, Peter I. L., Griffin, Peter B., Saraswat, Krishna C.

Publikováno v: Journal of Applied Physics; 8/15/1995, Vol. 78 Issue 4, p2837, 6p

Zobrazit plný text záznamu