Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"Slim, Aref"'
Autor:
Clergereaux, Richard, Gaboriau, Freddy, Slim, Aref, Stehlé, J., Zahorski, D., Raynaud, Patrice
Publikováno v:
JNTE 08 : French Symposium on Emerging Technologies (JNTE 2008), Nov. 19-21, 2008, Toulouse (FRANCE)
JNTE 08 : French Symposium on Emerging Technologies (JNTE 2008), Nov. 19-21, 2008, Toulouse (FRANCE), 2008, Toulouse, France
JNTE 08 : French Symposium on Emerging Technologies (JNTE 2008), Nov. 19-21, 2008, Toulouse (FRANCE), 2008, Toulouse, France
National audience
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______3430::b36d8f233dead8200dd34354051360bc
https://hal.science/hal-03954135
https://hal.science/hal-03954135
Autor:
Clergereaux, Richard, Gaboriau, Freddy, Slim, Aref, Stehlé, J., Zahorski, D., Raynaud, Patrice
Publikováno v:
E-MRS Fall meeting, Varsaw, Poland
E-MRS Fall meeting, Varsaw Poland, 2008, Varsaw, Poland
E-MRS Fall meeting, Varsaw Poland, 2008, Varsaw, Poland
International audience; Amorphous hydrocarbon film deposition in a DECR Multipolar Microwave Plasma takes place from two deposition mechanisms: Hydrocarbon species sticking and film erosion by hydrogen formed in the discharge. This last mechanism lea
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______3430::36bee0ea9d98cdf4a06b37ee1e9686ac
https://hal.science/hal-03954133
https://hal.science/hal-03954133
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.