Zobrazeno 1 - 10
of 28
pro vyhledávání: '"Sippola, Perttu"'
Autor:
Putkonen, Matti, Sippola, Perttu, Svärd, Laura, Sajavaara, Timo, Vartiainen, Jari, Buchanan, Iain, Forsström, Ulla, Simell, Pekka, Tammelin, Tekla
Publikováno v:
Philosophical Transactions: Mathematical, Physical and Engineering Sciences, 2018 Feb . 376(2112), 1-12.
Externí odkaz:
https://www.jstor.org/stable/44678873
Autor:
Rontu, Ville, Sippola, Perttu, Broas, Mikael, Ross, Glenn, Sajavaara, Timo, Lipsanen, Harri, Paulasto-Kröckel, Mervi, Franssila, Sami
The atomic layer deposition (ALD) of AlN from AlCl3 was investigated using a thermal process with NH3 and a plasma-enhanced (PE)ALD process with Ar/NH3 plasma. The growth was limited in the thermal process by the low reactivity of NH3, and impractica
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______1222::2f2190e7b310dc20c1befa20b1bacad5
http://urn.fi/URN:NBN:fi:jyu-201801241317
http://urn.fi/URN:NBN:fi:jyu-201801241317
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Physica Status Solidi. A: Applications & Materials Science; 3/21/2018, Vol. 215 Issue 6, p1-1, 5p
Autor:
Putkonen, Matti, Sippola, Perttu, Svärd, Laura, Sajavaara, Timo, Vartiainen, Jari, Buchanan, Iain, Forsström, Ulla, Simell, Pekka, Tammelin, Tekla
Publikováno v:
Philosophical Transactions of the Royal Society A: Mathematical, Physical & Engineering Sciences; 2/13/2018, Vol. 376 Issue 2112, p1-12, 12p