Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"Simha, Saurabh"'
Autor:
Simha, Saurabh, Sharma, Sarveshwar, Khrabrov, Alexander, Kaganovich, Igor, Poggie, Jonathan, Macheret, Sergey
The effect of driving frequency in the range of 13.56 MHz to 73 MHz on electron energy distribution and electron heating modes in a 50 mTorr capacitively coupled argon plasma discharge is studied using 1D-3V particle-in-cell simulations. Calculated e
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/2306.05386
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.