Výsledky vyhledávání - "Sim, Jihyeon"

Akademický článek

Investigation of dual work function metal (DWFM) gate stacks with ALD TaAlN and TaAlC for multi threshold voltages (VTHs) engineering in MOS device integration

Autor: Choi, Moonsuk, Sim, Jihyeon, Kim, Hyeongjun, Lim, Hyun Jin, Kim, Ki Sub, Choi, Changhwan

Publikováno v: In Materials Science in Semiconductor Processing 15 June 2024 176

Zobrazit plný text záznamu