Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"Silke Möhling"'
Publikováno v:
Surface and Coatings Technology. :932-936
The properties of reactive ion beam etching (RIBE) of single crystalline lithium tantalate (LiTaO 3 ) and photoresist are reported, with particular attention given to the dependence on the gas flow, the ion beam current, the accelerating voltage as w
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::541f5d61c2e1da06e9fed43e93245c57
https://doi.org/10.1016/0257-8972(94)08207-3
https://doi.org/10.1016/0257-8972(94)08207-3
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.