Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"SiC-based microsystems"'
Autor:
Ha-Duong Ngo, Biswajit Mukhopadhyay, Piotr Mackowiak, Kevin Kröhnert, Oswin Ehrmann, Klaus-Dieter Lang
Publikováno v:
Micromachines, Vol 7, Iss 10, p 193 (2016)
In this paper, we present and discuss our new WSi–WSiN–Pt metallization scheme for SiC-based microsystems for applications in harsh environments. Stoichiometric material WSi was selected as contact material for SiC. The diffusion barrier material
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/d536392349144da5af29876b0fc09a7a
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.