Zobrazeno 1 - 10 of 10 pro vyhledávání: '"Shirey, L. M."'
1
Akademický článek
Nanolithography by displacement of catalytic metal clusters using an atomic force microscope tip.
Autor: Brandow, S. L., Dressick, W. J., Dulcey, C. S., Koloski, T. S., Shirey, L. M., Schmidt, J., Calvert, J. M.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1997, Vol. 15 Issue 5, p1818-1824, 7p
Zobrazit plný text záznamu
2
Akademický článek
Effects of etch chemistry on SF6-based tungsten etching by electron cyclotron resonance reactive ion etching.
Autor: Eddy, C. R., Kosakowski, J., Shirey, L. M., Dobisz, E. A., Rhee, K. W., Chu, W., Foster, K. W., Marrian, C. R. K., Peckerar, M. C.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1994, Vol. 12 Issue 6, p3351-3355, 5p
Zobrazit plný text záznamu
3
Akademický článek
Thin silicon nitride films for reduction of linewidth and proximity effects in e-beam lithography.
Autor: Dobisz, E. A., Marrian, C. R. K., Shirey, L. M., Ancona, M.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1992, Vol. 10 Issue 6, p3067-3071, 5p
Zobrazit plný text záznamu
4
Akademický článek
Patterning tungsten films with an electron beam lithography system at 50 keV for x-ray mask applications.
Autor: Rhee, K. W., Ting, A. C., Shirey, L. M., Foster, K. W., Andrews, J. M., Peckerar, M. C., Ku, Y.-C.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1991, Vol. 9 Issue 6, p3292-3296, 5p
Zobrazit plný text záznamu
5
Akademický článek
Surface characterization of multilayer x-ray diffraction specimens.
Autor: Burkhalter, P. G., Brown, D. B., Gilfrich, J. V., Konnert, J. H., D'Antonio, P., Rosenstock, H., Shirey, L. M., Thompson, M., Elings, V.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1991, Vol. 9 Issue 2, p845-852, 8p
Zobrazit plný text záznamu
6
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
9
Akademický článek
Electron-beam fabrication of nonplanar templates for contact printing.
Autor: Rhee, K. W., Shirey, L. M., Isaacson, P. I., Kornegay, C. F., Dressick, W. J., Chen, M.-S., Brandow, S. L.
Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 2000, Vol. 18 Issue 6, p3569-3571, 3p
Zobrazit plný text záznamu
10
Conference
Sem Observation of Growth and Defect Formation of Heteroepitaxially grown sic on (100) Silicon.
Autor: Molnar, B., Shirey, L. M.
Publikováno v: MRS Online Proceedings Library; 01/24/1989, Vol. 162, pN.PAG-1, 1p
Zobrazit plný text záznamu

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje