Výsledky vyhledávání - "Shin, Donggeon"

Akademický článek

Effect of deposition temperature and surface reactions in atomic layer deposition of silicon oxide using Bis(diethylamino)silane and ozone

Autor: Roh, Hyeonsu, Kim, Hye-Lee, Khumaini, Khabib, Son, Heeju, Shin, Donggeon, Lee, Won-Jun

Publikováno v: In Applied Surface Science 1 January 2022 571

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

Corrigendum to “Effect of deposition temperature and surface reactions in atomic layer deposition of silicon oxide using Bis(diethylamino)Silane and ozone”. [Appl. Surf. Sci. 571 (2022) 151231]

Autor: Roh, Hyeonsu, Kim, Hye-Lee, Khumaini, Khabib, Son, Heeju, Shin, Donggeon, Lee, Won-Jun

Publikováno v: In Applied Surface Science 30 July 2024 662

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.