Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"Shen, Hualong"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Journal of Wuhan University of Technology-Mater. Sci. Ed.. 29:900-905
In this work, n-type amorphous silicon oxide thin films were deposited by RF-PECVD method using a gas mixture of SiH4, CO2, H2, and PH3. The deposition rate, refractive index, band gap, crystalline volume fraction, and conductivity of the silicon oxi
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::9fff4db8072b4d714ef3f6cacef8a820
https://doi.org/10.1007/s11595-014-1017-1
https://doi.org/10.1007/s11595-014-1017-1
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.